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超純水設備助力集成電路產業(yè)高質量發(fā)展

發(fā)布時間:2025-03-25

  在當今時代,集成電路產業(yè)于國民經濟和社會發(fā)展進程中,占據著戰(zhàn)略性主導地位。它不單單是轉變經濟發(fā)展方式、調整產業(yè)結構以及維護國家安全的關鍵支撐,更是培育與發(fā)展戰(zhàn)略性新興產業(yè),推動信息化和工業(yè)化深度融合的核心與基礎。過去十年間,我國集成電路產業(yè)步入快速發(fā)展通道,產業(yè)規(guī)模得以迅速拓展,產業(yè)結構持續(xù)優(yōu)化升級。

  隨著經濟的持續(xù)進步,集成電路設計對水質的要求日益嚴苛。在生產環(huán)節(jié),超純水成為保障集成電路性能的關鍵要素。展望未來數年,集成電路制造商數量的增多以及制造能力的提升,將進一步拉動集成電路行業(yè)對超純水制備的需求。這不僅體現(xiàn)在需求 “數量” 的增長上,更因集成電路制造愈發(fā)精密,對超純水純度和穩(wěn)定性的 “質量” 要求也會同步提高。

  長期以來,混床離子交換技術作為超純水制備的常規(guī)工藝,在超純水生產領域應用頗為廣泛。不過,該技術存在明顯短板,需要周期性再生,且在再生過程中會耗費大量化學藥品(酸堿)與工業(yè)純水,同時還會引發(fā)一定的環(huán)境問題。鑒于此,研發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)成為行業(yè)發(fā)展的迫切需求。

  傳統(tǒng)離子交換技術已逐漸難以契合現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展與環(huán)保要求。在此背景下,融合膜、樹脂以及電化學原理的 EDI 技術應運而生,引發(fā)了水處理技術的重大變革。EDI 技術在離子交換樹脂再生過程中,采用電能替代酸堿,更加契合當下全球的環(huán)保理念。

  EDI 系統(tǒng)通常應用于反滲透系統(tǒng)之后,能夠取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術,穩(wěn)定生產超純水。超純水系統(tǒng)將反滲透水處理設備、EDI 系統(tǒng)和拋光混床相結合來制備超純水。這不僅是一種創(chuàng)新的超純水制備技術,更是一種兼具環(huán)保、經濟優(yōu)勢且具備巨大發(fā)展?jié)摿Φ某兯苽涔に嚒?/p>

  超純水設備具備諸多優(yōu)勢,能夠連續(xù)穩(wěn)定地生產優(yōu)質超純水,不會因樹脂再生而中斷運行。其結構設計緊湊,占地面積小,能夠為企業(yè)節(jié)省大量空間資源。與傳統(tǒng)超純水制備方法相比,超純水設備在制備高質量超純水方面,展現(xiàn)出更為出色的穩(wěn)定性與持續(xù)性。

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